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案例詳情 >>> 淄博高新區MEMS研究院

淄博高新技術產業開發區MEMS研究


淄博高新技術產業開發區MEMS研究由淄博高新區管委會與清華大學機械工程學院于2010年11月共同建設,是微機電制造領域國內第一個校地共建研究院,是全國微納制造、器件與系統協同創新中心成員單位。研究院聘任中國工程院院士、清華大學副校長尤政擔任院長。


研究院設有“精密測試技術及儀器國家重點實驗室MEMS分實驗室”、“清華大學微米納米技術研究中心MEMS分中心”和“智能微系統教育部重點實驗室MEMS分實驗室”等分中心和分實驗室,提供MEMS器件小試、中試、代工、檢測分析等專業服務,及微機電制造領域知識產權管理和工藝標準化等公共服務。


MEMS研究院投資建設了國內首條硅基4/6英寸兼容MEMS中試代工平臺,超凈規模國內一流;配備了國際一流設備的中試代工線,中試生產能力可達月產傳感器十萬只,產品的測試環境也居國內先進水平。


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